ZEISS Sigma

Field Emission Scanning Electron Microscope

Sigma-Produktfamilie

Ihre FE-SEMs für Imaging mit hohem Qualitätsanspruch und erweiterter Analytik

Sigma 300 bietet ein ausgezeichnetes Preis-Leistungs-Verhältnis. Führen Sie Ihre Elementaranalyse schnell und komfortabel mit der klassenbesten EDS-Geometrie des Sigma 500 durch. Stützen Sie sich auf präzise, reproduzierbare Resultate – von jeder Probe, jederzeit.

Flexible Detektion. 4-Schritte-Workflow. Erweiterte Analysen.

Kombinieren Sie Feldemissions-SEM (FE-SEM)-Technologie mit erweiterten Analysen. Profitieren Sie von der bewährten Gemini-Elektronenoptik. Wählen Sie aus einer Vielzahl von Detektoroptionen: Bilden Sie Partikel, Oberflächen und Nanostrukturen ab. Untersuchen Sie Mikroelektronik-Bauteile und Medizinische Geräte und geologische oder biologische Proben. Sparen Sie Zeit mit dem halbautomatischen 4-Schritte-Workflow von Sigma: Strukturieren Sie Ihre Bildgebungs- und Analyseroutinen und steigern Sie die Produktivität. FE-SEM Nutzer aller Disziplinen in Forschung und Industrie-Laboren profitieren jetzt von einer Auflösung von 1,3 nm bei 1 kV mit ZEISS Sigma 500 und einer insgesamt verbesserten Benutzerfreundlichkeit.

Highlights

Kompositionsmodus.

Topographiemodus.

Gewinnen Sie Informationen über Topographie und Komposition mittels nur eines einzigen Detektors. Solarzelle, aufgenommen mit aBSD bei 5 kV im Hochvakuum.

Flexible Detektion für kristallklare Bilder

Passen Sie das Sigma mithilfe der neuesten Detektionstechnologie perfekt Ihren Bedürfnissen an, um alle vorliegenden Proben zu charakterisieren.
Charakterisieren Sie Komposition, Kristallographie und Oberflächentopographie mit dem ringförmigen Rückstreudetektor (aBSD, englisch: annular, ringförmig). Er liefert exzellente Niederspannungsbilder unter allen Vakuumbedingungen. Profitieren Sie von verbesserter Sensitivität, erhöhtem Signal-Rausch-Verhältnis und mehr Geschwindigkeit.
Nutzen Sie die Vorteile einer neuen Generation von Sekundärelektronen (SE)-Detektoren. Profitieren Sie im druckvariablen Modus von Sigmas C2D- und VPSE-Detektoren. Erstellen Sie im Niedervakuum gestochen scharfe Bilder mit bis zu 85% mehr Kontrast.

Sparen Sie Zeit mit dem 4-Schritte-Workflow von Sigma.

Automatisieren und beschleunigen Sie Ihren Workflow

Ein 4-Schritte-Workflow gibt Ihnen Kontrolle über die Funktionalität des Sigma. Freuen Sie sich über schnelle Ergebnisse und sparen Sie Zeit bei der Schulung, insbesondere in einem Umfeld mit mehreren Benutzern.
Zuerst navigieren Sie durch Ihre Probe und legen dann die optimalen Bildgebungsbedingungen fest.
Dann nehmen Sie automatisch in den Regions of Interest (ROI) mehrerer Proben Bilder auf. Den letzten Schritt des Workflows nutzen Sie zur kontextbezogenen Darstellung Ihrer Resultate.
Zuletzt stellt SmartSEM Touch Ihre Daten gebündelt, in Form einer interaktiven Karte, dar mit deren Hilfe Sie eine komplettes Bild Ihrer Proben erhalten.

Beschleunigen Sie EDS-Analysen durch die gleichzeitige Verwendung von zwei EDS-Detektoren mit koplanarer, also optimaler, Geometrie an der Kammer angeordnet sind

Setzen Sie moderne analytische Mikroskopie ein

Kombinieren Sie Rasterelektronenmikroskopie und Elementaranalyse: Sigmas klassenbeste EDS-Geometrie steigert Ihre analytische Produktivität, insbesondere bei strahlenempfindlichen Proben.
Erhalten Sie analytische Daten mit halbem Probenstrom und doppelter Geschwindigkeit.
Erzielen Sie mit Ihrem FE-REM vollständige, schattenfreie Analysen. Profitieren Sie von einem kurzen analytischen Arbeitsabstand von nur 8,5 mm und einem Austrittswinkel von 35°.

Technologie

Schematischer Querschnitt der elektronenoptischen Gemini 1-Säule.

Gemini-Optik - Auf Grundlage der bewährten Gemini-Technologie

Das Gemini-Objektivlinsendesign kombiniert elektrostatische und magnetische Felder, um die optische Performance zu maximieren und gleichzeitig die Feldeinflüsse auf die Probe auf ein Minimum zu reduzieren. Dies ermöglicht eine ausgezeichnete Abbildung auch bei schwierigen Proben wie beispielsweise magnetischen Materialien.
Das Gemini Konzept der Inlens-Detektion gewährleistet eine effiziente Signaldetektion durch Erfassung von Sekundärelektronen (SE) bzw. Rückstreuelektronen (BSE), und minimiert die Bilderfassungszeit.
Die Gemini Beambooster-Technologie ermöglicht geringe Sondengrößen und ein hohes Signal-Rausch-Verhältnis.

Schematischer Querschnitt der elektronenoptischen Gemini 1-Säule mit Detektoren.

Flexible Detektion für kristallklare Bilder

Charakterisieren Sie all Ihre Proben mit der neuesten Detektionstechnologie.
Sichern Sie sich mit dem ETSE und dem Inlens-Detektor für den Hochvakuummodus topographische Informationen in hoher Auflösung.
Erhalten Sie im druckvariablen Modus mit dem VPSE oder C2D-Detektor gestochen scharfe Bilder.
Produzieren Sie mit dem aSTEM-Detektor hochauflösende Transmissionsbilder.
Untersuchen Sie mit dem aBSD die Zusammensetzung und die Oberflächstruktur Ihrer Proben.
Justieren Sie Blende schnell und einfach mit der neuen Auto-wobble Funktion.

Anwendungen

Materialwissenschaften

Erkennen Sie während der Fehlerprüfung mit dem ETSE-Detektor alle Oberflächendetails von nichtleitenden Mikrolinsen, selbst bei so geringen Landenenergien wie 300 V.

Fasern mit eingebetteten Silber-Nanopartikeln, aus einer antimikrobiellen Wundauflage. 1 kV, links: Inlens Duo SE, rechts: Inlens Duo BSE, Bildbreite 90 µm.

Lanthankarbonat ist ein Phosphatbinder, der als orales Therapeutikum für Dialysepatienten verwendet wird, aufgenommen bei 1 kV mit Inlens Duo BSE.

Platin-Körner mit Korngrenzen-Gleitebenen, aufgenommen bei 4 kV mit dem AsB-Detektor, Bildbreite 69 µm.

CVD-gezüchtete MoS2 2D-Kristalle auf Si/SiO2-Substrat.

Polymergemisch aus Polystyrol (PS) und Polymethylmethacrylat (PMMA): Diese beiden Polymere bilden ein nicht mischbares System. Die Domänenstrukturen sind deutlich abgebildet, wobei PS blau und PMMA rot ist, Bildbreite 288 µm.

Life Sciences

Die filigrane offene Struktur eines Radiolariums wird mit dem ETSE-Detektor bei 1 kV unter Hochvakuum mühelos abgebildet, Bildbreite 183 µm.

Pilzsporen, abgebildet bei 1 kV im Hochvakuum. Diese empfindlichen, zerbrechlichen Strukturen können mit Sigma 500 bei niedriger Spannung leicht abgebildet werden.

Oberfläche einer Perle: Dieses RISE-Bild (rot-blau), überlagert mit einem SEM-Bild, ermöglicht die Unterscheidung zwischen Aragonit- und Vaterit-Phasen, Bildbreite 154 µm. Beides sind CaCO3-Polymorphe, die in Perlen vorkommen.

Die CaCO3-Polymorphe haben die gleiche chemische Zusammensetzung, aber unterschiedliche Kristallstrukturen. Aragonit (blau) und Vaterit (rot) können anhand der Raman-Spektren deutlich unterschieden werden.

Geowissenschaften & Rohstoffe

Gesteinsprobe, aufgenommen mit dem YAG-Rückstreudetektor, der aufgrund der Lichtleitfähigkeit seines YAG-Kristalls Bilder mit hoher Geschwindigkeit liefert, aufgenommen bei 20 kV.

Nickel-Sulfid-Erz. Mineralogische EDS-Elementverteilungsbilder.

Mineralogische Untersuchung von Eisen: Identifikation der Eisenerzminerale Hämatit und Goethit mit im SEM integrierter Ramanspektroskopie (abgekürzt RISE; RISE/SEM-Bild überlagert, Bildbreite 66 µm).

Unterschiede in den Spektren von Hämatit werden auf die unterschiedlichen Orientierungen der Kristalle zurückgeführt (Raman-Spektren: Hämatit ist rot, blau, grün, orange und rosa; Goethit ist hellblau).

Mikroskopielösungen für Industrie

Nichtleitende Titandioxid-Nanopartikel, die als Pigmente und Trübungsmittel eingesetzt werden, können mit dem C2D-Detektor bei 40 Pa im VP-Modus problemlos abgebildet werden, Bildbreite 10 µm.

25 - 50 nm große Eisenoxidpartikel, abgebildet mit dem aSTEM-Detektor, Transmissionsbild im Dunkelfeldmodus bei 20 kV.

Probe einer Supraleiterlegierung, aufgenommen bei 1 kV mit dem aBSD (Skalenbalken 20 µm).

Zubehör

SmartEDX

Entdecken Sie die Integrierte EDS-Lösung für Mikroanalyse im SEM

Wenn die SEM-Bilderfassung allein nicht ausreicht, um Proben vollständig zu charakterisieren, greifen SEM-Anwender zur Energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDS), um räumlich aufgelöste Informationen zur chemischen Elementzusammensetzung zu gewinnen.

Profitieren Sie von:

Optimierter Routine-Mikroanalyse und Detektion von niederenergetischen Röntgenstrahlen, die von leichten Elementen stammen, dank der überlegenen Durchlässigkeit des Silizium-Nitrid-Fensters
Einfach zu bedienenden Workflows, spezialisiert auf ein Umfeld mit vielen Nutzern, ermöglicht das Erstellen reproduzierbarer Analyseergebnisse
Umfassendem Support aus einer Hand, von der Installation über vorbeugende Wartung, Garantie, Diagnose, Reparatur und Ersatzteillieferung, bis hin zu integrierten Service-Verträgen.

Sigma RISE

Nutzen Sie die Vorteile von integrierter Raman-Bildgebung

Raman-Bildgebung und Scanning Electron Microscopy

Erhalten Sie einen chemischen Fingerabdruck von Ihrer Probe: Erweitern Sie Ihr ZEISS Sigma 300 mit konfokaler Raman-Bildgebung.

Profitieren Sie vom Zugang zu molekularer und kristallographischer Information.
Führen Sie 3D-Analysen durch und korrelieren Sie die SEM-Bildgebung mit Raman-Mapping und EDS-Daten.
Die vollständige Integration der beiden Techniken, SEM und Raman, macht die Durchführung von korrelativen Analysen schnell und einfach.

Das in die SEM-Kammer integrierte in situ Lab

Verbinden Sie Materialeigenschaften und Mikrostruktur mit dem in situ Lab für ZEISS FE-SEMs

Profitieren Sie von einer integrierten Lösung

Wenn Sie die Werkstoffeigenschaften mit der Mikrostruktur in Zusammenhang bringen müssen, stellt Ihnen ZEISS ein automatisiertes in situ Heiz- und Spannungsversuchslabor zur Verfügung. Beobachten Sie Materialien unter Wärme und Spannung und zeichnen Sie Spannungs-Dehnungs-Kurven automatisch auf. Erweitern Sie Ihr ZEISS FE-SEM mit einer in situ Lösung für Temperatur- und Zugversuche. Untersuchen Sie Materialien wie Metalle, Legierungen, Polymere, Kunststoffe, Verbundwerkstoffe und Keramiken.

Kombinieren Sie einen mechanischen Zug- oder Drucktisch, eine Heizeinheit, spezielle Hochtemperatur-SE- und BSE-Detektoren mit EDS- oder EBSD-Analysen (Elektronenrückstreubeugung). Dank des Designs der ZEISS Gemini-Elektronenoptiken ist die Integration der in situ Hardware sehr einfach. Steuern Sie alle Systemkomponenten von einem einzigen PC aus mit einer einheitlichen Softwareumgebung, die unbeaufsichtigte automatisierte Materialprüfungen ermöglicht. Die automatische Merkmalsverfolgung bietet Ihnen einen neuen Standard für die automatische Serienbildgebung und -analyse, wie z. B. EDS- oder EBSD-Mapping, während mehrere Regions of Interest überwacht werden..

Nutzen Sie diese Vorteile

Einfaches und schnelles Einrichten von Experimenten, ohne dass das System während der Erfassung überwacht werden muss
Automatisierte in situ Workflows für eine hochgradig reproduzierbare, präzise und zuverlässige, bedienerunabhängige Datenerfassung
Datenerfassung mit hohem Durchsatz und hoher Auflösung. Dies führt schnell zu statistisch repräsentativen Ergebnissen
Qualitativ hochwertige Daten für eine zuverlässige Nachbearbeitung, z. B. Dehnungskartierung mit Digital Image Correlation (DIC), unterstützt durch GOM
Einfache Datenverwaltung

In der SEM-Kammer montierter Kreuztisch für Zugversuche.

Software

ZEISS SmartSEM Touch – Zugeschnitten auf Multi-User-Umgebungen

SmartSEM Touch, ein Add-on zum etablierten Betriebssystem, ist eine vereinfachte Benutzeroberfläche für Multi-User Umgebungen. Es bietet einfache Bedienung für erfahrene und unerfahrene Benutzer. Je nach Laborumgebung kann die Bedienung des SEM die alleinige Aufgabe erfahrener Elektronenmikroskopiker sein. Es kann aber auch die Notwendigkeit bestehen, dass unerfahrene Nutzer wie Studenten, Auszubildende oder Qualitätsingenieure Daten von einem SEM benötigen. Sigma 300 und Sigma 300 VP berücksichtigen beide Gruppen mit Benutzeroberflächen, die auf die Nutzeranforderungen von erfahrenen Mikroskopikern und Neulingen gleichermaßen eingehen.

ZEISS Atlas 5 – Meistern Sie Ihre multi-dimensionale Herausforderung

Mit Atlas 5 erstellen Sie multi-dimensionale Bilder. Atlas 5 ist ein leistungsstarkes Paket aus Hardware und Software, das Ihr ZEISS Rasterelektronenmikroskop (SEM) ergänzt.

mehr erfahren

3DSM

Nutzen Sie Ihr SEM zur Rekonstruktion Ihrer Probenoberflächen

Ihr Rasterelektronenmikroskop misst und analysiert alle Arten von Proben in 2D: Zur Analyse Ihrer Probenoberfläche in 3D verwenden Sie 3DSM, das optionale Softwarepaket von ZEISS. Erhalten Sie topographische Informationen, indem Sie ein komplettes 3D-Modell Ihrer Probe rekonstruieren und dazu die Signale des aBSD oder des AsB-Detektors verwenden.

mehr erfahren

Lithium-ion Battery

Visualisierungs- und Analyse-Software

ZEISS empfiehlt Dragonfly Pro von Object Research Systems (ORS)
Die erweiterte Analyse-und Visualisierungs-Software für Ihre 3D Datensätze aus verschiedensten Technologien einschließlich Röntgenmikroskopie, FIB-SEM, SEM und Helium-Ionen-Mikroskopie.
Dragonfly Pro, ehemals Visual SI Advanced, bietet eine High-Definition Visualisierungstechnik und branchenführende Graphik. Dragonfly Pro unterstützt Anpassungen mittels einfachem Python-Scripting. Anwender haben nun die totale Kontrolle über ihre 3D-Datennachbearbeitung und Workflows.

mehr erfahren